Графоэпитаксия [Шефталь Н.Н., 1977; patterned substrate epitaxy] - ориентировка нарастающих кристаллов на подложке с искусственным закономерным микрорельефом ([Bad link]). Может осуществляться при ориентированном гетерогенном зарождении кристалла в углублениях рельефа или при гомогенном зарождении кристалла с последующей ориентированной [Bad link] аналогично [Bad link]. ([Bad link] (в трех томах), 2010, ВСЕГЕИ)